Meriam流量計/ 層流元件（LFE）

Meriam 層流元件（LFE）非常適合測量從0.2SCCM到2250 SCFM的低氣體流量。

準確且可重復，并且可以追溯到美國國家標準技術研究院。

流量調節比為20：1或更高，并且產生的壓差與流量幾乎呈線性關系。

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50MW20-1

50MW20-1 1/2

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50MH10-1 1/4

50MH10-1 1/2

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